應(yīng)用場(chǎng)景:合成氨/甲醇生產(chǎn)車(chē)間、石油煉制加氫工藝、氯堿工業(yè)電解槽周邊、氫氣壓縮機(jī)房及管道接口處。
核心作用:
泄漏實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè):氫氣在化工生產(chǎn)中作為原料(如合成氨的N?+H?反應(yīng))或中間產(chǎn)物(如石油加氫脫硫),需通過(guò)檢測(cè)儀精準(zhǔn)捕捉管道閥門(mén)、法蘭等薄弱環(huán)節(jié)的微量泄漏(檢測(cè)范圍通常覆蓋0-1000ppm或0-4%LEL),防止?jié)舛冗_(dá)到爆炸下限(4%)引發(fā)燃爆事故。
工藝安全控制:在加氫反應(yīng)釜、氣柜等設(shè)備附近部署,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氫氣純度與壓力波動(dòng),確保反應(yīng)條件穩(wěn)定(如合成氨工藝中氫氣純度需維持在99.9%以上),避免因濃度異常導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降或設(shè)備腐蝕。
區(qū)域風(fēng)險(xiǎn)劃分:根據(jù)氫氣比空氣輕(密度0.0899kg/m3)的特性,在車(chē)間頂部等高位置安裝檢測(cè)儀,形成立體監(jiān)測(cè)網(wǎng)絡(luò),覆蓋泄漏氣體易積聚區(qū)域,聯(lián)動(dòng)排風(fēng)系統(tǒng)快速稀釋濃度
應(yīng)用場(chǎng)景:晶圓制造車(chē)間(外延生長(zhǎng)、離子注入)、電子元件焊接保護(hù)氣系統(tǒng)、光刻膠涂覆工藝間。
核心作用:
保護(hù)氣氛圍監(jiān)測(cè):氫氣在半導(dǎo)體工藝中作為還原性保護(hù)氣(如硅片外延生長(zhǎng)時(shí)防止氧化),檢測(cè)儀需實(shí)時(shí)監(jiān)控管道內(nèi)氫氣濃度(通常要求≥99.999%),當(dāng)純度下降或混入空氣時(shí)觸發(fā)報(bào)警,避免硅片氧化導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低。
潔凈室安全防護(hù):在百級(jí)/千級(jí)潔凈室內(nèi),氫氣泄漏可能與光刻膠等有機(jī)溶劑蒸汽形成燃爆混合物,檢測(cè)儀需具備抗電磁干擾(EMI)能力,與FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元)聯(lián)動(dòng),確保泄漏后快速置換空氣,維持Class 1級(jí)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。
設(shè)備尾氣排放監(jiān)控:監(jiān)測(cè)外延爐、離子注入機(jī)的尾氣排放口氫氣濃度,確保燃燒處理裝置(如火炬系統(tǒng))分解未反應(yīng)氫氣,避免直接排放引發(fā)大氣污染或安全隱患
應(yīng)用場(chǎng)景:金屬熱處理爐(如退火、淬火)、鎂鋁冶煉車(chē)間、焊接保護(hù)氣管道。
核心作用:
高溫環(huán)境下的穩(wěn)定監(jiān)測(cè):在1000℃以上的熱處理爐周邊,檢測(cè)儀需具備耐溫設(shè)計(jì)(如采用高溫隔熱外殼或外置采樣泵),監(jiān)測(cè)爐體密封失效導(dǎo)致的氫氣泄漏,防止與高溫金屬接觸引發(fā)爆燃。
鎂合金熔煉安全:鎂在熔融狀態(tài)下與氫氣接觸可能產(chǎn)生氫脆,檢測(cè)儀需安裝在熔煉爐加料口、出液口等位置,實(shí)時(shí)監(jiān)控氫氣濃度,與惰性氣體(氬氣)補(bǔ)氣系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),抑制氫氣滲透。
焊接工藝保護(hù):氫氣作為焊接保護(hù)氣時(shí),泄漏可能導(dǎo)致焊縫氣孔或氫致裂紋,檢測(cè)儀需與焊接機(jī)器人的氣源控制系統(tǒng)對(duì)接,濃度異常時(shí)自動(dòng)切換至備用保護(hù)氣(如氮?dú)猓?,保障焊接質(zhì)量。
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